氧化鋯氧量分析儀的使用及維護
半導體/液晶/電子元件相關應用半導體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
形狀 | 分離式（轉換器：壁掛式，傳感器：直插式） | ||
顯示方式 | 數字4位顯示（濃度顯示） | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm | ||
重復性 | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內或更多 | ||
測量點數 | 1-8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3～ 200 KPa（絕壓） | |
流量 | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴散狀態的測量） | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
比較氣體 | 氣氛 | ||
錄音機輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
傳輸輸出 | RS-232C | ||
報警輸出 | 沒有任何 | ||
熱身時間 | 6分鐘內 | ||
尺寸 | MS-500（控制器） | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分） | |
MS-510（轉換器） | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分） | ||
傳感器單元 | SD16NW | 全長100mm（感應部分Φ11×39，本體部分Φ40×51） | |
SD25NW | 全長100mm（感應部分Φ11×42，本體部分Φ40×48） | ||
SD40NW | 全長100mm（感應部分Φ11×41，本體部分Φ40×49） | ||
大量的 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
MS-510（換能器） | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
使用的電源 | 24VDC ± 10% | ||
