日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹 AT-ET, AT-ETa
特征
通過結合旋轉泵并使其成為桌面型，實現了小空間。
操作簡單，從排氣到涂裝完成自動響應。
采用數字顯示器，便于了解真空度。
低價。
目標：Au Pt Ag Au-Pd In 可用。（Φ30 t：0.1 mm，In 為 0.5 mm）（另售）
使用 In 時，我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa。
規格
| 濺射 法 | DC磁控濺射 放電電壓：DC 1500V max 放電電流：從DC 10、20、30、40mA中選擇 |
| 目標（單獨出售） | 可以使用厚度為φ30、0.1mm的Au、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30、0.5mm的In。 |
| 使用的氣體 | 空氣，Ar（Ar 僅適用于 AT-ETA） |
| 達到真空壓力 | 8Pa以下 |
| 腔室尺寸 | φ87mm |
| 樣品架 | φ70mm |
| 真空排氣 | 旋轉泵（10L/min）*內置 |
| 尺寸 | 機身 250W x 370D x 325H |
| 重量 | 機身約15kg |
| 電源供應 | 交流 100V 3A |
涂層示例
◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）
放大倍率 x 2,000 倍
