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磊晶處理后的滑線檢查技術

發布時間:2022-06-16 點擊量:1303

磊晶處理后的滑線檢查技術

高倍率表面缺陷檢測設備(放大魔鏡)

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YIS 系列的高倍率檢測設備可在螢幕上呈現一個10mm的視場。
特別廣泛應用于磊晶處理后的滑線檢查。同時也適用于硬碟或光學拋光元件。
檢測靈敏度約相當于50倍的微分干涉像差顯微鏡。


Product features

  • 1即時顯示所有表面狀態。

  • 2光學系統對應等級1。

  • 3光學系統無須維護。

  • 4根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。

檢測尺寸從φ100mm至φ300mm
檢測內容平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率1x / 3x 模式可切換(標準設備)
檢測靈敏度檢測靈敏度可連續調整
使用光源550nm (固定照度之穩定光源)
鏡頭高解析度CCD鏡頭
平臺手動平臺(標準設備)
用途
鏡面晶圓的表面檢測
滑線檢測
玻璃基板檢測
其他鏡面基板檢測
選配
電動馬達檢測平移臺
自動判定缺陷影像處理裝置
影像列印機




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