ulvac真空計的故障排除

使用注意事項

1.由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示值與實際壓力不同。

2.當測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時，燈絲會迅速反應并劣化。
   為了減少消耗，要么降低發射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時，需要對探頭本身進行脫氣。
   開始脫氣時，大量釋放的氣體會增加壓力，反過來可能會污染探頭。請務必在 10 -4 Pa 以下進行脫氣。

4.請注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續使用會導致燈絲快速磨損，從而無法獲得恒定的發射電流。

故障檢查清單

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時亮）指示值波動6.指示值與預期壓力明顯不同7.未輸出設定值信號

1.寫筆燈絲不亮

2.探頭燈絲發出異常光（比平時亮）

3.燈絲亮但不顯示壓力

4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅

5.指標波動

6.指示值與預期壓力有顯著差異

7.無設定點信號輸出

8.停止發射電流流動的原因及對策