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半導(dǎo)體制造等惰性氣體管線檢測(cè)用氧氣計(jì)EZY系列

發(fā)布時(shí)間:2023-03-15 點(diǎn)擊量:1302

半導(dǎo)體制造等惰性氣體管線檢測(cè)用氧氣計(jì)EZY系列

這是一款便攜式O 2儀表,使用穩(wěn)定的氧化鋯陶瓷作為檢測(cè)部分。 它結(jié)合了傳感器和控制單元、流量計(jì)、泵和過(guò)濾器。

image.png

檢測(cè)器使用穩(wěn)定化氧化鋯陶瓷的便攜式氧分析儀。傳感器與控制單元、流量計(jì)、泵、過(guò)濾器為一體。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.實(shí)現(xiàn)了前機(jī)型(TB-FI系列)的輕量化(EZY:4.3kg/前機(jī)型:6.0kg)

2.根據(jù)使用用途選擇的顏色變化(紅、綠、藍(lán))

3.通過(guò)平滑的溫度控制,可以進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量(減少搖晃)

4.電池受到多重保護(hù),耐腐蝕性氣體,長(zhǎng)壽命(2年保證※)

相關(guān)技術(shù)參數(shù)

乙二醇-1-GEZY-1-R乙型酶-1-B乙二醇-2-GEZY-2-R乙型酶-2-B
顏色藍(lán)藍(lán)
類型

不帶取樣泵

提供取樣泵

原則氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池
配置不銹鋼箱、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計(jì)等
測(cè)量范圍1ppm~100%O2
指示% :0~99.99%O 2 ppm:0~9999ppmO2
輸出4~20mADC (隔離) 0~1VDC, 0~5VDC, 0~10VDC (隔離,選擇其中之一)


RS-232C

繼電器觸點(diǎn):3點(diǎn)(A觸點(diǎn)),集電極開路輸出:2點(diǎn)(以下可任意分配)

濃度報(bào)警:高/低、高/高或低/低(液晶顯示)

傳感器異常(故障)報(bào)警:加熱器、RTD斷線(液晶顯示)

預(yù)熱完成信號(hào)

蘭根·阿弗

觸點(diǎn)輸入遠(yuǎn)程校準(zhǔn)傳輸輸出(電壓/電流)保持遠(yuǎn)程量程切換
范圍切換自動(dòng)/手動(dòng)/遠(yuǎn)程

初始化

0~25.00%O 2/0~9999ppmO2
樣品抽吸

樣品壓接

內(nèi)置泵抽吸

樣品壓力

高達(dá) 2 個(gè)大氣壓

漂移線性重復(fù)性


響應(yīng)速度

管道連接

樣品流速

樣品溫度

預(yù)熱時(shí)間

權(quán)力

附屬品

±2%滿量程/周以內(nèi)±在1%滿量程或±1ppm以內(nèi),以較大者為準(zhǔn)±在1%滿量程或±1ppm以內(nèi),以較大者為準(zhǔn)。


90 秒內(nèi) 10% 響應(yīng)(擺動(dòng)到高濃度側(cè)時(shí))

Rc1/4

0.2~2升/分

最高 60°C

約20分鐘

免費(fèi)電源 (85~260VAC)

電源線 3m


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