日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D
它是一個使用白光干涉技術的系統，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數據的軟件。
日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D
| 半導體 | 晶圓凸塊、CMP焊盤等 |
|---|---|
| 醫療領域 | 注射針、人工關節、支架等 |
| 安裝板 | 銅線、凸點、透鏡等 |
| 垂直掃描白光干涉測量法 (WLI) | 相移干涉測量 (PSI) | |
|---|---|---|
| 測量范圍 | 50 納米 – 10 毫米 | 0 – 3 微米 |
| 準確性 | 0.7% | —— |
| 再現性 | 0.1% | —— |
| 反射范圍 | 0.05% – 100% | 0.05% – 100% |
| XY自動載物臺 | 100mm x 100mm |
|---|---|
| Z軸驅動范圍 | 100mm |
| 壓電驅動范圍 | 500微米 |
| 掃描速度 | 12微米/秒 |
| 相機 | 2592 x 1944（500 萬像素） |
| 體重 | 15公斤 |
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